Method for the absolute calibration of an interferometer

摘要

Bei einem Verfahren zur Absolutkalibrierung eines Interferometers (1) mit einer kugelförmigen Ausgangswelle, mit einem optischen Element (4,4'), das die einfallende Kugelwelle selbst oder über einen Spiegel (7) zurückreflektiert, werden zur Bestimmung der Wellenaberration (W) wenigstens vier Meßvorgänge vorgenommen. Das optische Element (4,4') wird in den wenigstens vier Meßstellungen intrafokal und extrafokal in wenigstens zwei unterschiedlichen Drehwinkelstellungen vermessen. Zusätzlich kann noch eine Messung über einen Spiegel (6) in der Katzenaugenstellung (Fokus 3) vorgenommen werden.