发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SUPPORTING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1261985(A2) 申请公布日期 2002.12.04
申请号 EP20010914803 申请日期 2001.03.12
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 WANG, DANNY;LUBOMIRSKY, DMITRY;POLAR, ERWIN;STOEHER, BRIGITTE;WILTSE, MARK;MOK, YEUK-FAI, EDWIN;MA, FRANK, C.
分类号 B65G49/06;B65G49/07;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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