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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR SUPPORTING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP1261985(A2)
申请公布日期
2002.12.04
申请号
EP20010914803
申请日期
2001.03.12
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
WANG, DANNY;LUBOMIRSKY, DMITRY;POLAR, ERWIN;STOEHER, BRIGITTE;WILTSE, MARK;MOK, YEUK-FAI, EDWIN;MA, FRANK, C.
分类号
B65G49/06;B65G49/07;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
B65G49/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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