Self-aligned doping of source-drain contacts,申请号GB20020024871-传众专利搜索

发明名称	Self-aligned doping of source-drain contacts
摘要
申请公布号	GB0224871(D0)	申请公布日期	2002.12.04
申请号	GB20020024871	申请日期	2002.10.25
申请人	PLASTIC LOGIC LTD	发明人
分类号	H01L21/288;H01L21/302;H01L21/336;H01L21/461;H01L29/78;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40	主分类号	H01L21/288
代理机构		代理人
主权项
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