发明名称 | 用于测量位移的装置上的标尺 | ||
摘要 | 一种用于测量位移的装置上的标尺,该标尺包括一个含有形成在玻璃-环氧树脂基片等上的以间隔的方式分布的多个矩形线栅的标尺部件,一个覆盖在形成有多个矩形线栅的标尺部件一侧上的涂层,一个用做保护层的标尺盖层(薄膜层),以及利用粘结层粘附在涂层外部的标尺构成材料从而防止污染物、油或颗粒进入矩形线栅和诸如胶带等的粘结层之间。 | ||
申请公布号 | CN1382955A | 申请公布日期 | 2002.12.04 |
申请号 | CN02118044.X | 申请日期 | 2002.04.19 |
申请人 | 株式会社三丰 | 发明人 | 佐佐木康二;小泉博;大山良和;神宝信之;高桥诚悟 |
分类号 | G01B21/02;G01D5/00 | 主分类号 | G01B21/02 |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 武玉琴;朱登河 |
主权项 | 1.一种测量位移的装置上的标尺。包括:一个包含至少在标尺基片顶面上形成的多个线栅的标尺部件,一个覆盖形成有所述线栅的一侧的涂层,以及一个用粘结层盖在所述涂层上的标尺盖层,该涂层盖住形成在所述基片上的所述线栅上。 | ||
地址 | 日本川崎 |