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发明名称
摘要
申请公布号 JP3353766(B2) 申请公布日期 2002.12.03
申请号 JP19990348707 申请日期 1999.12.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/20;G21K5/04;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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