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发明名称 Thin films and production methods thereof
摘要
申请公布号 AU2002320033(A1) 申请公布日期 2002.12.03
申请号 AU20020320033 申请日期 2002.05.20
申请人 REVEO, INC, 发明人 SADEG M. FARIS
分类号 H01L21/02;B81C1/00;(IPC1-7):B81C1/00;H01L21/78 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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