发明名称
摘要
申请公布号 JP3352902(B2) 申请公布日期 2002.12.03
申请号 JP19970054098 申请日期 1997.02.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/02;H01L21/20;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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