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发明名称
摘要
申请公布号
JP3352842(B2)
申请公布日期
2002.12.03
申请号
JP19950068445
申请日期
1995.03.27
申请人
发明人
分类号
C23C14/32;C23C8/36;C23C14/48;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/321;(IPC1-7):C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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