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发明名称 METHOD OF DEPOSITING ON SURFACES OF DIELECTRIC MATERIALS A LAYER CONTAINING SILICEOUS COMPOUNDS
摘要
申请公布号 PL347771(A1) 申请公布日期 2002.12.02
申请号 PL20010347771 申请日期 2001.05.29
申请人 INSTYTUT CHEMII PRZEMYSLOWEJ IM.PROF.IGNACEGO MOSCICKIEGO;INSTYTUT FIZYKI PLAZMY I LASEROWEJ MIKROSYNTEZY 发明人 ULEJCZYK BOGDAN;OPALINSKA TERESA;SCHMIDT-SZALOWSKI KRZYSZTOF;POLACZEK JERZY;KARPINSKI LESLAW;PAWLOWSKI SLAWOMIR
分类号 C23C22/00;(IPC1-7):C23C22/00 主分类号 C23C22/00
代理机构 代理人
主权项
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