冷却感应线圈的方法

摘要

本发明关于一种冷却经浸渍之感应线圈之方法，该线圈例如使用于真空处理室之离子化线圈。线圈10可包含盘旋之中空管11，当冷媒藉由泵13泵送时，可流经此中空管。阀16系设置以使空气可以任何方向流经此管且流动方向系藉由作用在阀16上的控制器20控制。阀16之切换速率可藉由处理条件或藉由侦测冷媒及/或线圈之下游温度决定。

主权项

1.一种冷却感应线圈之方法,该线圈具有沿伸通过该线圈之冷却通道,此方法包含使冷媒流经第一方向上的冷却通道,且接着使冷媒流经第二方向上的通道。2.如申请专利范围第1项之方法,其中该方向系周期性地切换。3.如申请专利范围第1项之方法,包含监测冷媒及/或线圈之下游温度,以及当温度超过预定値时反转方向。4.如申请专利范围第1.2或3项之方法,其中该冷媒为空气。图式简单说明:第1图为感应线图之概要图及相关的冷却系统;第2图为显示对于不同冷却系统架构,添加之颗粒及经处理之晶圆的数目之间的关系的图形;第3图为在不同的系统架构下,表示冷却超过时间的图形;以及第4图为当进行RF线圈加热时,对应于第3图之图形。