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发明名称 ACID GENERATOR, SULFONIC ACID, SULFONIC ACID DERIVATIVES AND RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 IL150494(D0) 申请公布日期 2002.12.01
申请号 IL20020150494 申请日期 2002.06.30
申请人 JSR CORPORATION 发明人
分类号 C07C;(IPC1-7):C07C 主分类号 C07C
代理机构 代理人
主权项
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