| 摘要 |
<p>본 발명은 챔버 특성 측정 및 매처 성능 평가를 위한 어댑터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 RF 발전기와, 입력 단자가 금속봉으로 형성된 챔버와, 상기 챔버의 특성을 측정하는 측정기와, 출력 단자가 클립으로 형성된 매처와, 상기 측정기로부터 출력되는 데이터를 이용하여 상기 챔버의 특성을 확인하는 컴퓨터를 포함하는 챔버 특성 측정 장치에 있어서, 상기 매처의 클립을 통해 출력되는 상기 RF 발전기의 출력을 입력받아 상기 챔버의 금속봉으로 출력하며, 상기 매처를 통해 입력되는 상기 RF 발전기의 출력을 상기 측정기로 전달하는 어댑터를 포함하며, 상기 어댑터는 직육면체의 금속재로 이루어진 본체와, 절연이 가능한 유전체 물질로 형성되며 상기 본체의 내부 저면에 부착 고정되는 고정판과, 상기 고정판의 상단에 부착되며, 원형바 형태로 이루어져 상기 매처의 클립과 결합되는 도전성 금속봉과, 상기 본체의 내부 저면을 관통하며 상기 고정판과 소정 간격 이격되어 유전체 물질로 이루어진 클립 고정판에 의해 고정되는 도전성 클립과, 상기 본체의 내부 상면에 상기 도전성 금속봉과 대응되며, 상기 매처의 클립이 상기 도전성 금속봉과 결합이 가능하도록 형성되는 연결홀과, 상기 본체의 외측에 결합되어 상기 측정기가 안착되는 측정기용 지그와, 상기 도전성 금속봉에 결합되어 상기 측정기로 신호를 전달하도록 N-타입 연결 단자를 갖는 제 1동축선과, 상기 도전성 클립에 결합되어 상기 측정기로부터 출력되는 신호를 상기 도전성 클립을 통해 상기 챔버로 전달하도록 N-타입 연결 단자를 갖는 제 2동축선을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로한다. 따라서 상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면 실제 라인인 챔버 특성 측정 장치에 매처와 챔버에 간단하게 연결할 수 있는 어댑터를 제공함으로써 챔버의 특성 분석 및 매처의 성능 평가를 수행할 수 있다.</p> |
