发明名称 |
Improvements in or relating to the sputtering of dielectric materials |
摘要 |
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申请公布号 |
GB1118759(A) |
申请公布日期 |
1968.07.03 |
申请号 |
GB19660051467 |
申请日期 |
1966.11.17 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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分类号 |
C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35;H01G4/08;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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