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发明名称
摘要
申请公布号
JP3090132(U)
申请公布日期
2002.11.29
申请号
JP20020002950U
申请日期
2002.05.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/8234;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/76;H01L29/78;H01L31/0328;H02M3/335;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823;H01L27/088
主分类号
H01L21/8234
代理机构
代理人
主权项
地址
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