| 发明名称 |
Method and apparatus for using quasi-stable light sources in interferometry applications |
| 摘要 |
Techniques for performing phase-shifting interferometry are disclosed
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| 申请公布号 |
US2002176091(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.28 |
| 申请号 |
US20020125078 |
申请日期 |
2002.04.17 |
| 申请人 |
DECK LESLIE L. |
发明人 |
DECK LESLIE L. |
| 分类号 |
G01B11/06;G01B11/24;G01B11/30;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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