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发明名称 FIBRE OPTIC WAFER PROBE
摘要 A fibre optic wafer probe (10) that includes a fibre optic cable (14) for approaching a device under test.
申请公布号 WO02095798(A2) 申请公布日期 2002.11.28
申请号 WO2002US13916 申请日期 2002.05.03
申请人 CASCADE MICROTEXH, INC.;MCCANN, PETER, R.;MARTIN, JOHN, T. 发明人 MCCANN, PETER, R.;MARTIN, JOHN, T.
分类号 G01R1/06;G01R31/302;G02B6/36;G02B6/38;G02B6/42;H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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