| 摘要 |
<p>L'invention concerne un système d'antenne réseau à commande de phase et d'autres types de dispositifs et systèmes radiofréquences (RF) utilisant des commutateurs micro-électromécaniques (MEMS) et une technique de céramiques cocuites à basse température (LTCC), ainsi que des procédés de fabrication de ce système d'antenne réseau à commande de phase et d'autres types de dispositifs radiofréquences (RF). Chaque antenne ou autre type de dispositif comprend au moins deux modules céramiques multicouches (212, 214) et un dispositif MEMS (211) fabriqué sur l'un des modules (212). Une fois la fabrication du dispositif MEMS (211) achevée, les deux modules céramiques (212, 214) sont fixés ensemble, de manière à fermer hermétiquement le dispositif MEMS et former des connexions électriques entre l'ensemble des couches des dispositifs. L'envers du module céramique inférieur (212) comporte des cavités servant au montage des circuits intégrés (220). Les couches internes (236) sont formées au moyen de pâtes conductrices résistives à constante diélectrique élevée, présentes dans la fabrication de LTCC standard et de matériaux en bandes LTCC diélectriques à faible perte.</p> |
