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Um in einem Wärmebehandlungsverfahren und -ofen, der in diesem Verfahren verwendet wird, die Störungen eines Atmosphärengases in einer Wärmekammer und Beeinträchtigungen der Bearbeitungsqualität und des Betriebswirkungsgrads verhindern zu können, betreibt ein Steuerabschnitt (4) zunächst eine Vakuumpumpe (VP), um den Innendruck einer Spülkammer (3) auf einen vorbestimmten Druckwert zu reduzieren, bedient dann ein groß- und ein kleinkalibriges Betätigungsventil (13a, 13b), um die Atmosphäre aus dem Inneren der Wärmekammer (1) in das der Spülkammer (3) zu führen, wonach der Steuerabschnitt (4) eine Transporteinrichtung (5) betätigt, um das Werkstück (W) zwischen der Spülkammer (3) und der Wärmekammer (1) in einem Zustand zu transportieren, in dem die Innendrücke der Spülkammer (3) und der Wärmekammer (1) auf der Grundlage von Detektionswerten von einem ersten und einem zweiten Drucksensor (PS1, PS2) im wesentlichen angeglichen wurden.
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