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发明名称 PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF A HIGHLY EPSILON-DIELECTRIC OR FERROELECTRIC COATING
摘要
申请公布号 EP0931333(B1) 申请公布日期 2002.11.27
申请号 EP19970910214 申请日期 1997.09.19
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HARTNER, WALTER;SCHINDLER, GUENTHER;BRUCHHAUS, RAINER;PRIMIG, ROBERT
分类号 H01L21/316;H01L21/8247;C23C14/34;H01L21/314;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/108;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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