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发明名称 METHOD FOR FORMING A SILICIDE REGION ON A SILICON BODY
摘要
申请公布号 EP0976147(A4) 申请公布日期 2002.11.27
申请号 EP19980902430 申请日期 1998.01.09
申请人 ULTRATECH STEPPER INC. 发明人 TALWAR, SOMIT;VERMA, GUARAV;KRAMER, KARL-JOSEPH;WEINER, KURT
分类号 H01L21/225;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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