| 发明名称 |
Electron beam irradiation system and method thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2375882(A) |
申请公布日期 |
2002.11.27 |
| 申请号 |
GB20020004333 |
申请日期 |
2002.02.25 |
| 申请人 |
* SONY CORPORATION;* SONY CORPORATION |
发明人 |
YOSHIHISA * MIURA;YUICHI * AKI;YOSHIHISA * MIURA;YUICHI * AKI |
| 分类号 |
G21K5/04;B23K15/10;G03F7/20;G11B7/26;H01J37/18;H01J37/20;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/09 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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