摘要 |
<p>Ein Magnetfeldsensor für die Messung von wenigstens zwei Komponenten eines Magnetfeldes umfasst einen auf einem Halbleiterchip (1) aufgebrachten ferromagnetischen Kern (4), eine mit einem Strom beaufschlagbare Erregerspule (2) und zwei Auslesesensoren (5, 6). Der ferromagnetische Kern (4) ist ringförmig. Die Erregerspule (2) ist bevorzugt gebildet aus Leiterbahnen (9, 10; 23) des Halbleiterchips (1) und aus Bonddrähten (11, 12; 24). <IMAGE></p> |