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发明名称
摘要
申请公布号 JP3350994(B2) 申请公布日期 2002.11.25
申请号 JP19930024033 申请日期 1993.02.12
申请人 发明人
分类号 C23C14/06;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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