| 发明名称 |
A method of providing a layer including a metal or silicon or germanium and oxygen on a surface |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002253400(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.25 |
| 申请号 |
AU20020253400 |
申请日期 |
2002.05.13 |
| 申请人 |
CDT OXFORD LIMITED |
发明人 |
NATASHA M. J. CONWAY;ALAN MOSLEY |
| 分类号 |
B05D1/18;B05D3/04;B05D3/10;B05D3/14;B05D7/24;H01L29/16;H01L33/00;H01L51/30;H01L51/50;H01L51/52;H05B33/10;(IPC1-7):H01L51/20;H01L21/316;C23C16/40 |
主分类号 |
B05D1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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