| 发明名称 |
Relationship to other applications and patents |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002308503(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.25 |
| 申请号 |
AU20020308503 |
申请日期 |
2002.04.29 |
| 申请人 |
ISOFLUX, INC. |
发明人 |
DAVID A. GLOKER;MARC ROMACH |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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