发明名称 III-V NITRIDE SUBSTRATE BOULE AND METHOD OF MAKING AND USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20020087414(A) 申请公布日期 2002.11.22
申请号 KR1020027012071 申请日期 2002.09.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址