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发明名称
III-V NITRIDE SUBSTRATE BOULE AND METHOD OF MAKING AND USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20020087414(A)
申请公布日期
2002.11.22
申请号
KR1020027012071
申请日期
2002.09.13
申请人
发明人
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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