| 摘要 |
본 발명은 프로세스 탱크를 차지 및 디스차지하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 프로세스 탱크를 디스크형 기판으로 차지 및 디스차지하는 것을 단순화하는 것이다. 이를 위해, 디스크형 기판은 서로 직면하는 수용 슬롯을 갖는 적어도 두 개의 대향 그리퍼를 포함하는 그리퍼에 의해 차징 중에 픽업된다. 기판은 프로세스 탱크 내의 가이드 슬롯과 정렬되는 방식으로 프로세스 탱크 상에 위치된다. 그리퍼는 웨이퍼가 프로세스 탱크 내의 리프트된 기판 리프팅 소자와 접촉할 때까지 기판을 프로세스 탱크 내로 부분 하강시키기 위해 하강된다. 그리퍼 소자는 기판이 수용 슬롯 내부에 더 이상 유지 및 가이드되지 않는 위치쪽으로 이격되게 부분 이동시키고 그리퍼 소자는 리프팅 소자를 하강시킴으로써 프로세스 탱크 내로 더 하강된다. 기판을 디스차지하기 위해, 서로 직면하는 수용 슬롯을 갖는 적어도 두 개의 대향 그리퍼 소자를 포함하는 그리퍼는 탱크 내의 가이드 슬롯과 그리퍼 소자 내의 수용 슬롯이 서로 정렬되는 방식으로 프로세스 탱크 상에 위치된다. 기판은 기판 리프팅 소자에 의해 리프트되고 그리퍼 소자의 수용 슬롯 내로 도입된다. 소정의 위치에 도달했을 때, 그리퍼 소자는 기판을 파지하기 위해 서로를 향해 이동되고 기판은 그리퍼를 리프팅시킴으로써 프로세스 탱크 외부로 리프트된다. |
