STRUCTURE FOR PREVENTING LEAKAGE OF HELIUM IN ETCHER

摘要

본 고안은 식각장비의 헬륨 누설 방지구조에 관한 것으로서, 웨이퍼를 정전척에 얹기까지의 과정에서 발생할 수 있는 오차에 의해 정전척의 중심과 웨이퍼의 중심이 일치하도록 정확하게 얹혀지지 못하는 경우에도 포커스링의 내주 단부와 웨이퍼간의 간섭이 발생되지 않도록 포커스링의 구조를 변경하여, 웨이퍼가 정전척으로부터 들뜸에 의해 발생하는 헬륨 누설이 일어나지 않도록 함에 의해 식각중의 웨이퍼 손상을 방지할 수 있도록 한 것이다.