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<p>개시된 압력센서는 4개의 압저항의 일단 및 타단과 금속 배선을 연결하는 더미 저항을 각기 동일하게 형성하여 별도의 초기 오프셋을 보상할 필요가 없도록 한다. 압력센서 베이스의 네 모서리에 패드가 각기 형성되어 패드에서 압력센서 베이스의 네 변으로 금속 배선이 각기 형성되고, 압력센서 베이스의 저면은 식각되어 다이어프램이 형성되며, 압력센서 베이스 및 다이어프램의 경계선의 네변 중간부에 압저항이 형성됨과 아울러 이 압저항의 단부가 각기 더미저항을 통해 금속 배선에 연결되어 브리지를 이루는 압력센서에 있어서, 압저항의 일단을 금속 배선에 연결하는 복수의 더미 저항과, 압저항의 타단을 금속 배선에 연결에 연결하는 복수의 더미 저항을 각기 동일한 모양으로 형성하고, 압저항에 연결되는 더미저항의 연결 부위는 45°의 각도로 형성하는 것을 특징으로 한다.</p> |
