| 主权项 |
1.一种用于具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆之晶圆朝向器,该晶圆朝向器系包含:一个用于旋转该晶圆之机构;及一个晶圆朝向感测器,该晶圆朝向感测器系包含:一个用于发射光之光源;一个光感测器,其用于当该晶圆之边缘系旋转于该光源及该感测器之间时感测由该光源发射而来之光,且用于产生一个代表该感测到之光之感测器讯号;及一个光学滤波器,其定位于该光源及该光感测器之间,该光学滤波器系具有一个光传送特性,其中,于该晶圆之该通常中的光系被阻隔。2.根据申请专利范围第1项之用于具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆之晶圆朝向器,其中,该晶圆系一个砷化镓晶圆,且其中,该光学滤波器系阻隔波长大于大约860奈米(10-9m)之光线。3.根据申请专利范围第2项之用于具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆之晶圆朝向器,其中,该光源包含一个白炽灯,其发射波长大于大约860奈米(10-9m)之光线。4.根据申请专利范围第1项之用于具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆之晶圆朝向器,其进一步包含一个放大器,该放大器系用于放大该感测器讯号,以补偿于该光学滤波器中之光线衰减。5.根据申请专利范围第1项之用于具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆之晶圆朝向器,其中,该感测器讯号系代表一个于该晶圆之该边缘上的基准。6.一种用于感测具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆朝向之方法,该方法包含下列步骤:旋转该晶圆;当该晶圆旋转时,导引由一光源发射之光至该晶圆之一个边缘;当该晶圆之一个边缘系旋转于该光源及该光感测器之间时,以一个光感测器感测由该光源发射而来之光;及阻隔于该晶圆之通带中之光防止到达该光感测器。7.根据申请专利范围第6项之用于感测具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆朝向之方法,其中,该晶圆系一个砷化镓晶圆,且其中,该阻隔光线之步骤系包含阻隔波长大于大约860奈米(10-9m)之光线。8.根据申请专利范围第7项之用于感测具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆朝向之方法,其中,该导引光线之步骤系包含由一个白炽灯导引光线,该白炽灯发射包含波长大于大约860奈米(10-9m)之光线。9.根据申请专利范围第6项之用于感测具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆朝向之方法,其进一步包含放大该感测讯号以补偿于该光线阻隔之步骤中光线衰减之步骤。10.根据申请专利范围第6项之用于感测具有包含通带及拒带之光传送特性的晶圆朝向之方法,其中,该感测器讯号系代表一个于该晶圆之该边缘上的基准。11.一种用于砷化镓晶圆之晶圆朝向器,该晶圆朝向器系包含:一个用于旋转该晶圆之机构;及一个晶圆朝向感测器,该晶圆朝向感测器系包含:一个用于发射光之光源;一个光感测器,其用于当该晶圆之边缘系旋转于该光源及该感测器之间时感测由该光源发射而来之光,且用于产生一个代表该感测到之光之感测器讯号;及一个光学滤波器,其定位于该光源及该光感测器之间,该光学滤波器系具有一个光传送特性,其中,波长大于大约860奈米(10-9m)之光线系被阻隔。12.根据申请专利范围第11项之用于砷化镓晶圆之晶圆朝向器,其中,该光源包含一个白炽灯,其发射包含波长大于大约860奈米之光线。13.根据申请专利范围第11项之用于砷化镓晶圆之晶圆朝向器,其中,该光源发射包含波长大于及小于860奈米之光线,且其中,该光学滤波器系传送波长小于大约860奈米之光线。14.根据申请专利范围第11项之用于砷化镓晶圆之晶圆朝向器,其中,该感测器讯号系代表一个于该晶圆之该边缘上的基准。图式简单说明:第1图系一个适合用于结合本发明之晶圆转移装置之范例的俯视示意图;第2图系一个根据本发明之一个实施例的晶圆朝向感测器之示意侧视图;第3图系一个第2图之晶圆朝向感测器的示意俯视图;第4图系一个用于一有凹口的晶圆且为时间之函数的感测器讯号之图;第5图系为以奈米之波长为函数之光源相对输出强度、砷化镓晶圆光传送及光学滤波器之光线传送之图;及第6图系一个为以奈米之波长为函数之相对光传送之图,以图示一个适合之光学滤波器特性的范例。 |
