| 主权项 |
1.一种用于光学地检测一半导体元件之接线插脚的装置,其包含:一个光源,其用于提供沿着第一光径之照明;一个位于该第一光径上之光学分光镜;一个相机,其被设置成用来接收来自于分光镜而沿着第二光径的光,该第二光径系大致上横向于该第一光径;一个检测站,其被设置成用来接受一半导体元件;一个用于接收来自于该光源之照明的表面,其被设置于该检测站上之一半导体元件之插脚的一侧;及至少一个光偏转构件,其位于该等插脚之相对于该表面的另一侧,其用以将该等插脚之背光影像导向该分光镜,以致使该分光镜将该影像沿着该第二光径导向该相机。2.如申请专利范围第1项之装置,其中该检测站包含一个用于接受该半导体元件的水平平台,且其中该表面包含一个被设置于该水平平台下方之具角度的反射表面。3.如申请专利范围第2项之装置,其中该光偏转构件包含一个镜面。4.如申请专利范围第1项之装置,其用于检测一具有两列接线插脚之半导体元件,并包括两个用于背后照亮该两列接线插脚的表面,和两个用以将光线偏转以朝向该分光镜的光偏转构件。5.如申请专利范围第1项之装置,其用于检测一具有四列接线插脚之半导体元件,并包括四个用于背后照亮该四列接线插脚的表面,和四个用以将光线偏转以朝向该分光镜的光偏转构件。6.一种用于光学地检测一半导体元件之接线插脚的装置,其包含:一个光源,其用于提供沿着第一光径之照明;一个分光镜,其被设置来用以将源自于该第一光径的照明光偏转而朝向一第二光径,该第二光径系大致上横向于该第一光径;一个相机,其被设置成用来接收通过该分光镜而沿着第三光径的光,该第三光径系大致上横向于该第一光径;一个检测站,其被设置成用来接受一半导体元件;至少一个用于接收来自于该光源之照明的表面,其被设置在被接受于该检测站上之一半导体元件之接线插脚的一侧上;及至少一个光偏转构件,其位于该等插脚相对于该表面之另一侧,其用以将该等插脚之背光影像导向该分光镜。7.如申请专利范围第6项之装置,其中该检测站包含一个用于接受该半导体元件的水平平台,且其中该表面包含一个被设置于该水平平台下方之具角度的反射表面。8.如申请专利范围第7项之装置,其中该第二光偏转构件包含一个镜面。9.如申请专利范围第6项之装置,其用于检测一具有两列接线插脚之半导体元件,并包括两个用于背后照亮该两列接线插脚的表面,和两个用以将光线偏转以朝向该分光镜的光偏转构件。10.如申请专利范围第6项之装置,其用于检测一具有四列接线插脚之半导体元件,并包括四个用以背后照亮该四列接线插脚的表面,和四个用以将光线偏转以朝向该分光镜的光偏转构件。11.一种用于检测一半导体元件之接线插脚的方法,其包含:经由一被一分光镜所反射的第一光径来提供该等接线插脚的背光照明;将经过该等接线插脚的光引导在一朝向该分光镜的第二光径上;及侦测通过该分光镜以形成该等接线插脚之一个影像的光。12.如申请专利范围第11项之方法,其更包括经由该第一光径照明该等接线插脚的末端,并侦测被该等插脚所反射且通过该分光镜的光。13.一种用于检测一半导体元件之接线插脚的方法,其包含:经由一通过一分光镜的第一光径来提供该等接线插脚的背光照明;将经过该等接线插脚的光引导在一朝向该分光镜的第二光径上;及侦测被该分光镜所反射而形成该等接线插脚之一个影像的光。14.如申请专利范围第13项之方法,其更包括经由该第一光径照明该等接线插脚的末端,且侦测被该等插脚所反射且被该分光镜所反射的光。图式简单说明:第1图为依据本发明之第一装置的一个俯视图;第2图为第1图之装置的一个局部截面图;第3图为第1图之装置的一个细部截面图;第4图为依据本发明之一种检测构件的第二实施例的一个俯视图;第5图为第4图之构件的一个局部截面图;第6图为第4图之构件的一个细部截面图;第7图为显示依据本发明之装置的一种细部可交替之设置的一个简化图;第8A-B图为显示第1图之装置的光径的一个简化图;第9图为显示第7图之装置的光径的一个简化图;第10A-B图为显示第8图之装置中用于一外加影像部分之形成的光径;第11图为由第1图之装置所提供之一影像的一个实施例。 |
