| 主权项 |
1.一种于第一处理室第二处理室及第三处理室间执行物件传送之方法,使用一具有一第一末端作用器部及一第二末端作用器部之机械手臂,该第一处理室操作类似于第二处理室的温度,该第三处理室操作于不同于第一处理室或第二处理室的温度,该方法至少包含步骤:使用第一末端作用器部,执行所有物件由第一处理室传送至第二处理室;及使用第二末端作用器部,执行所有物件由第二处理室传送至第三处理室。2.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之第一末端作用器部或第二末端作用器部均能承载单一物件。3.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之第一末端作用器部及第二末端作用器部均能承载多数物件。4.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之物件的处理系与温度有关。5.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之第二末端作用器部并未用以传送物件进出第一处理室。6.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之第一末端作用器部并未用以传送物件进出第三处理室。7.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之物件系主要由半导体所形成之基材。8.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之物件为一晶圆。9.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之第一末端作用器部可以定位于与第二末端作用器部分开之一处理室中。10.如申请专利范围第9项所述之方法,其中上述之第一末端作用器及第二末端作用器均能同时支撑多数物件之一特殊一个。11.如申请专利范围第1项所述之方法,其中上述之第一末端作用器部及第二末端作用器部可以同时被插入一单一处理室中。12.如申请专利范围第1项所述之方法,其中当上述之第一末端作用器部及第二末端作用器部被同时插入一单一处理室中时,只有上述之第一末端作用器部或第二末端作用器部之一定位以支撑一晶圆。13.一种电脑可读取媒体,其储存软体,当该软体被一处理机所执行时,使得一系统执行一种将物件传送于一第一处理室,一第二处理室,及一第三处理室间之方法,该第一处理室操作于与第二处理室类似之温度,该第三处理室操作于与第一处理室或第二处理室不同之温度,该方法至少包含步骤:使用一机械手臂之第一末端作用器部,执行所有物件由第一处理室传送至第二处理室;及使用一机械手臂之第二末端作用器部,执行所有物件由第二处理室传送至第三处理室。14.如申请专利范围第13项所述之电脑可读取媒体,其中上述之处理室的操作温度系基于每一处理室之一般操作而定。15.如申请专利范围第13项所述之电脑可读取媒体,其中上述之温度系基于定量量测。16.如申请专利范围第13项所述之电脑可读取媒体,其中上述之第一末端作用器部定位于与第二末端作用器部离开之处理室中。17.如申请专利范围第16项所述之电脑可读取媒体,其中上述之第一末端作用器部及第二末端作用器部均能同时支撑多数物件之特定一个。18.如申请专利范围第13项所述之电脑可读取媒体,其中上述之第一末端作用器部及第二末端作用器部可以同时被插入一单一处理室中。19.如申请专利范围第18项所述之电脑可读取媒体,其中当上述之第一末端作用器部及第二末端作用器部被同时插入一单一处理室时,只有第一末端作用器部或第二末端作用器部之一被定位以支撑一晶圆。图式简单说明:第1图为包含多数处理室之丛集工具之一实施例的俯剖面图;第2图为具有多数末端作用器之机械手臂之丛集工具之另一实施例的俯剖面图,每一末端作用器系架构以承载一物件;第3图为示于第2图中之机械手臂之放大立体图;第4图为示于第1及2图中之控制器所执行之方法的实施例之流程图,用以传送一物件于多数处理室间;第5图为一温度可控制末端作用器之一部份的部份剖面图;第6图为一末端作用器之另一实施例之俯视立体图;第7图为第6图取剖面线7-7所取之侧剖面图。 |
