发明名称 非挥发性半导体记忆体
摘要 在矽基底内形成源极区与汲极区,在源极区与汲极区之间的矽基底上形成介电层,在介电层上形成铁电层,以及在铁电层上形成闸极。铁电层与矽基底都具有第一型导电性,而源极与汲极具有第二型导电性。
申请公布号 TW511275 申请公布日期 2002.11.21
申请号 TW090114863 申请日期 2001.06.19
申请人 松下电器产业股份有限公司 发明人 田恭博;加藤刚久
分类号 H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种非挥发性半导体记忆体,包括源极区与汲极区,在矽基底内形成;介电层,在源极区与汲极区之间的矽基底上形成;铁电层,在介电层上形成;以及闸极,在铁电层上形成,其中该铁电层与矽基底都具有p型导电性,而该源极与汲极具有n型导电性。2.一种非挥发性半导体记忆体,包括源极区与汲极区,在矽基底内形成;介电层,在源极区与汲极区之间的矽基底上形成;铁电层,在介电层上形成;以及闸极,在铁电层上形成,其中该铁电层与矽基底都具有n型导电性,而该源极与汲极具有p型导电性。图式简单说明:图1是依据本发明实施例1或2之非挥发性半导体记忆体的剖示图;图2A与2B是实施例1非挥发性半导体记忆体在资料储存状态下的能带图;图3A与3B是实施例2非挥发性半导体记忆体在资料储存状态下的能带图;图4是传统之非挥发性半导体记忆体的剖示图;图5A与5B是传统非挥发性半导体记忆体在资料储存状态下的能带图;以及图6是传统铁电记忆体在闸极与矽基底都具有接地电位时的等效电路图。
地址 日本