Verfahren zur Farbvariationskorrektur und Defekterkennung für Wafer

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Farbvariationskorrekturverfahren und ein Defekterkennungsverfahren für Halbleiterwafer und auf ein computerlesbares Aufzeichnungsmedium, in welchem diese Verfahren implementiert sind. DOLLAR A Erfindungsgemäß wird im Fall unterschiedlicher Farbwerte verschiedener Oberflächenbereiche eines Wafers der Graustufenwert für jeden Bildpunkt des einen Bereichs so korrigiert, dass der Mittelwert und die Standardabweichung der Graustufenwerte für den korrigierten Bereich gleich denen für die Bildpunkte eines anderen Bereichs mit anderem Farbwert sind. Zur Defekterkennung wird für ein Bild der Waferoberfläche zu einem jeden Bildpunkt ein Graustufenwert bestimmt, von dem dann geprüft wird, ob er größer/gleich einem Schwellwert ist. Dabei wird im Fall einer Struktur mit Linien und zwischenliegenden Zwischenräumen ein erster Schwellwert für das Linienmuster und ein davon verschiedener, zweiter Schwellwert für die Zwischenräume festgelegt. DOLLAR A Verwendung bei der Untersuchung von Halbleiterwafern auf Defekte.