发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION DEVICE
摘要
申请公布号 KR20020087054(A) 申请公布日期 2002.11.21
申请号 KR1020027010498 申请日期 2002.08.13
申请人 发明人
分类号 H01L23/544 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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