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发明名称 Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69712988(T2) 申请公布日期 2002.11.21
申请号 DE19976012988T 申请日期 1997.07.16
申请人 JSR CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 OHTA, YOSHIHISA;WANG, YONG;TANABE, TAKAYOSHI;IWANAGA, SHIN-ICHIRO
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004;G03F7/022 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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