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发明名称 FÜLLEN VON LÖCHERN UND DERGLEICHEN IN SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE69528571(D1) 申请公布日期 2002.11.21
申请号 DE19956028571 申请日期 1995.07.04
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED, NEWPORT 发明人 DOBSON, DAVID;MCGEOWN, JOHN
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H05K3/40;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/44 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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