摘要 |
Die Erfindung betrifft ein mit einer Sensorvorrichtung ausführbares Verfahren zur Überwachung eines an einem Werkstück (12) durchzuführenden Laserbearbeitungsvorganges, bei dem zur Qualitätssicherung mit einer ortsauflösenden Empfängeranordnung (10, 11, 14) ein bestimmtes Beobachtungsfeld (13) im Bereich der Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl (25) und Werkstück (12) ausgewählt wird, bei dem eine aus dem ausgewählten Beobachtungsfeld (13) kommende Strahlung mit einem strahlungsempfindlichen Empfänger (10), der ein der erfassten Strahlung entsprechendes elektrisches Signal liefert, erfaßt wird, bei dem das elektrische Signal in einer Signalverarbeitungsschaltung (16) gefiltert wird, um schnelle und/oder kurze, störungsbedingte Intensitätsänderungen der erfaßten Strahlung festzustellen, und bei dem das gefilterte elektrische Signal zum Erkennen von Störungen während des Laserbearbeitungsvorganges.
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