| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM ERKENNEN DES ÜBERGANGS VERSCHIEDENER MATERIALIEN BEIM ÄTZEN VON HALBLEITERSTRUKTUREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59805963(D1) |
申请公布日期 |
2002.11.21 |
| 申请号 |
DE19985005963 |
申请日期 |
1998.07.14 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
BECKER, VOLKER;LAERMER, FRANZ;SCHILP, ANDREA |
| 分类号 |
H01L21/66;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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