发明名称 Verfahren und Vorrichtung für die Bestimmung der Gasdurchlässigkeit eines Behälters
摘要
申请公布号 DE10084175(D2) 申请公布日期 2002.11.21
申请号 DE20001084175 申请日期 2000.12.22
申请人 LEYBOLD COATING GMBH & CO. KG IN GRUENDUNG 发明人 GEBELE, THOMAS;HENRICH, JUERGEN
分类号 G01M3/32;(IPC1-7):G01M3/00 主分类号 G01M3/32
代理机构 代理人
主权项
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