| 发明名称 | 柱脚型储存节与其接触插塞及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种柱脚型储存节与其接触插塞的制造方法。首先,提供一基底,表面具有一第一绝缘层。在第一绝缘层中形成至少一接触孔。在接触孔内依次填入导电层及阻障层,阻障层高度稍低于接触孔表面,而形成浅凹洞,使易沉积顺应性覆盖阻障层及第一绝缘层表面的金属晶种层。沉积第二绝缘层。在第二绝缘层中形成位于接触孔上方且深及金属晶种层的凹洞。在凹洞内填入一储存节层。最后,移除第二绝缘层以和第一绝缘层相近的蚀刻速率移除曝露在储存节间的金属晶种层,同时通过扩大第二绝缘层的蚀刻图案,增加储存节面积及储存节和插塞对准失误的许可程度。 | ||
| 申请公布号 | CN1380683A | 申请公布日期 | 2002.11.20 |
| 申请号 | CN01110479.1 | 申请日期 | 2001.04.12 |
| 申请人 | 华邦电子股份有限公司 | 发明人 | 江明崇;许伯如;朱聪明 |
| 分类号 | H01L21/283;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/82 | 主分类号 | H01L21/283 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟 |
| 主权项 | 1.一种柱脚型储存节与其接触插塞，包括：一绝缘层，具有至少一接触孔；一导电层，位于该接触孔内；一阻障层位于该导电层上，高度低于该接触孔表面；一金属晶种层，位于该阻障层上而隆起在该接触孔表面；一储存节层，成柱脚形而置于该金属晶种层上。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||