发明名称 POLISHING COMPOUND AND METHOD FOR POLISHING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20020086953(A) 申请公布日期 2002.11.20
申请号 KR1020027013838 申请日期 2002.10.16
申请人 发明人
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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