POLISHING AGENT AND METHOD FOR PRODUCING PLANAR LAYERS,申请号KR1020027012795-传众专利搜索

发明名称	POLISHING AGENT AND METHOD FOR PRODUCING PLANAR LAYERS
摘要
申请公布号	KR20020086942(A)	申请公布日期	2002.11.20
申请号	KR1020027012795	申请日期	2002.09.27
申请人		发明人
分类号	C09K3/14	主分类号	C09K3/14
代理机构		代理人
主权项
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