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发明名称
摘要
申请公布号	JP2002539643(A)	申请公布日期	2002.11.19
申请号	JP20000606050	申请日期	2000.03.10
申请人		发明人
分类号	H01L21/285;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824	主分类号	H01L21/285
代理机构		代理人
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