| 发明名称 |
METHOD OF REMOVING PARTICLES FROM STAGE AND CLEANING PLATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG92672(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.19 |
| 申请号 |
SG20000000523 |
申请日期 |
2000.01.28 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORPORATION;FUJITSU LIMITED |
发明人 |
NAOKI NISHIO;KAZUSHI ISHIDA;YUKIO TAKIGAWA;EI YANO |
| 分类号 |
B08B7/00;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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