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发明名称
摘要
申请公布号	JP3345636(B2)	申请公布日期	2002.11.18
申请号	JP19970282413	申请日期	1997.10.15
申请人		发明人
分类号	H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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