| 发明名称 |
Resist with reduced line edge roughness |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002340923(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.18 |
| 申请号 |
AU20020340923 |
申请日期 |
2002.05.09 |
| 申请人 |
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
发明人 |
THEODORE H. FEDYNYDHYN |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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