发明名称 GRADED THIN FILMS
摘要
申请公布号 KR20020086614(A) 申请公布日期 2002.11.18
申请号 KR1020027011725 申请日期 2002.09.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址