一种液晶显示器阵列衬底的制造方法

摘要

一种液晶显示器阵列衬底的制造方法包括以下步骤:通过在一衬底上形成一金属材料,在该衬底上形成一选通线和一栅极;在该衬底上形成一选通绝缘层;在该选通绝缘层上形成一有源层和一欧姆接触层;在该衬底上形成一数据线、一源极和一漏极;通过在该衬底上淀积一绝缘材料形成一钝化层;通过对该钝化层制作图案形成一漏极接触孔,该漏极接触孔露出漏极的一部分;在该钝化层上形成一透明金属层;在该透明金属层上形成一阻光层;通过将一掩模设置在阻光层之上来执行一曝光过程,该掩模包括一阻光部分、一缝部分和一透光部分;通过对曝光的阻光层进行显影和对所曝光的透明金属层进行蚀刻,形成一象素电极。

主权项

1.一种液晶显示器阵列衬底的制造方法，包括以下步骤：在一衬底上形成一选通线和一栅极；在该衬底上形成一选通绝缘层；在该选通绝缘层上形成一有源层和一欧姆接触层；在该衬底上形成一数据线、一源极和一漏极；通过在该衬底上淀积绝缘材料形成一钝化层；通过对该钝化层制作图案形成一漏极接触孔，该漏极接触孔露出漏极的一部分；在该钝化层上形成一透明金属层；在该透明金属层上形成一阻光层；通过将一掩模设置在阻光层之上来执行一曝光过程，该掩模包括一阻光部分、一缝部分和一透光部分；和通过对曝光的阻光层进行显影和对所曝光的透明金属层进行蚀刻，形成一象素电极。