金属基体表面非金属涂层厚度非接触测量方法及其装置

摘要

本发明属于机械几何尺寸测量技术领域，包括用激光三角法位移传感器和大量程电涡流传感器组成复合传感器，二者固定在同一基体上，无相对运动；用激光三角法位移传感器，测量非金属涂层表面与复合传感器测头之间距离的变化量；用电涡流传感器测量金属基体表面与复合传感器测头之间的距离变化量；二者求差，即是非金属涂层的厚度。本发明简单、易行，可实现生产线上金属基体表面非金属涂层厚度实时、连续地测量。

主权项

1、一种金属基体表面非金属涂层厚度非接触测量方法，其特征在于， 包括以下步骤： 1)用由激光器、成像透镜、接收器构成的激光三角法位移传感器和大量 程电涡流传感器组成复合传感器，所说的激光三角法位移传感器和大量程电 涡流传感器二者之间的相对位置的确定用标准块标定后，固定在同一基体 上，无相对运动； 2)用所说的激光三角法位移传感器，采用激光束垂直入射被测物面的三 角测量方式非接触地测量非金属涂层表面与所说的复合传感器测头之间距 离的变化量； 3)用所说的电涡流传感器测量金属基体表面与复合传感器测头之间的距 离变化量； 4)将所说的激光三角法测出的非金属涂层表面离所说的测头的距离与电 涡流传感器测出的金属基体表面与该测头之间的距离求差，即是非金属涂层 的厚度。